Chế tạo và khảo sát ảnh hưởng của nhiệt độ đến các đặc trưng của màng SnO được chế tạo bởi phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC = Fabrication and investigation of the effects of temperature on the characteristics of the SnOx thin films prepared by DC magnetic sputtering
Lưu vào:
Tác giả chính: | , , , |
---|---|
Định dạng: | Bài trích |
Ngôn ngữ: | Vietnamese |
Thông tin xuất bản: |
2023
|
Chủ đề: | |
Truy cập trực tuyến: | https://sti.vista.gov.vn/tw/Pages/tai-lieu-khcn.aspx?ItemID=284910 http://thuvienlamdong.org.vn:81/handle/DL_134679/12559 |
Từ khóa: |
Thêm từ khóa bạn đọc
Không có từ khóa, Hãy là người đầu tiên gắn từ khóa cho biểu ghi này!
|
id |
oai:localhost:DL_134679-12559 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
oai:localhost:DL_134679-12559 Chế tạo và khảo sát ảnh hưởng của nhiệt độ đến các đặc trưng của màng SnO được chế tạo bởi phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC = Fabrication and investigation of the effects of temperature on the characteristics of the SnOx thin films prepared by DC magnetic sputtering Phạm, Hoài Phương Nguyễn, Thị Hải Yến Nguyễn, Thị Phương Thủy Trần, Quang Trang Tạp chí Khoa học - Đại học Đồng Nai 2023-11-13T02:11:11Z 2023-11-13T02:11:11Z 2019 Article https://sti.vista.gov.vn/tw/Pages/tai-lieu-khcn.aspx?ItemID=284910 http://thuvienlamdong.org.vn:81/handle/DL_134679/12559 vi Tạp chí Khoa học - Đại học Đồng Nai - 2019 - no.14 - tr.115-122 - ISSN.2354-1482 reserved |
institution |
Thư viện Lâm Đồng |
collection |
DSpaceLDU |
language |
Vietnamese |
topic |
Tạp chí Khoa học - Đại học Đồng Nai |
spellingShingle |
Tạp chí Khoa học - Đại học Đồng Nai Phạm, Hoài Phương Nguyễn, Thị Hải Yến Nguyễn, Thị Phương Thủy Trần, Quang Trang Chế tạo và khảo sát ảnh hưởng của nhiệt độ đến các đặc trưng của màng SnO được chế tạo bởi phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC = Fabrication and investigation of the effects of temperature on the characteristics of the SnOx thin films prepared by DC magnetic sputtering |
format |
Article |
author |
Phạm, Hoài Phương Nguyễn, Thị Hải Yến Nguyễn, Thị Phương Thủy Trần, Quang Trang |
author_facet |
Phạm, Hoài Phương Nguyễn, Thị Hải Yến Nguyễn, Thị Phương Thủy Trần, Quang Trang |
author_sort |
Phạm, Hoài Phương |
title |
Chế tạo và khảo sát ảnh hưởng của nhiệt độ đến các đặc trưng của màng SnO được chế tạo bởi phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC = Fabrication and investigation of the effects of temperature on the characteristics of the SnOx thin films prepared by DC magnetic sputtering |
title_short |
Chế tạo và khảo sát ảnh hưởng của nhiệt độ đến các đặc trưng của màng SnO được chế tạo bởi phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC = Fabrication and investigation of the effects of temperature on the characteristics of the SnOx thin films prepared by DC magnetic sputtering |
title_full |
Chế tạo và khảo sát ảnh hưởng của nhiệt độ đến các đặc trưng của màng SnO được chế tạo bởi phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC = Fabrication and investigation of the effects of temperature on the characteristics of the SnOx thin films prepared by DC magnetic sputtering |
title_fullStr |
Chế tạo và khảo sát ảnh hưởng của nhiệt độ đến các đặc trưng của màng SnO được chế tạo bởi phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC = Fabrication and investigation of the effects of temperature on the characteristics of the SnOx thin films prepared by DC magnetic sputtering |
title_full_unstemmed |
Chế tạo và khảo sát ảnh hưởng của nhiệt độ đến các đặc trưng của màng SnO được chế tạo bởi phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC = Fabrication and investigation of the effects of temperature on the characteristics of the SnOx thin films prepared by DC magnetic sputtering |
title_sort |
chế tạo và khảo sát ảnh hưởng của nhiệt độ đến các đặc trưng của màng sno được chế tạo bởi phương pháp phún xạ phản ứng magnetron dc = fabrication and investigation of the effects of temperature on the characteristics of the snox thin films prepared by dc magnetic sputtering |
publishDate |
2023 |
url |
https://sti.vista.gov.vn/tw/Pages/tai-lieu-khcn.aspx?ItemID=284910 http://thuvienlamdong.org.vn:81/handle/DL_134679/12559 |
work_keys_str_mv |
AT phamhoaiphuong chetaovakhaosatanhhuongcuanhietđođencacđactrungcuamangsnođuocchetaoboiphuongphapphunxaphanungmagnetrondcfabricationandinvestigationoftheeffectsoftemperatureonthecharacteristicsofthesnoxthinfilmspreparedbydcmagneticsputtering AT nguyenthihaiyen chetaovakhaosatanhhuongcuanhietđođencacđactrungcuamangsnođuocchetaoboiphuongphapphunxaphanungmagnetrondcfabricationandinvestigationoftheeffectsoftemperatureonthecharacteristicsofthesnoxthinfilmspreparedbydcmagneticsputtering AT nguyenthiphuongthuy chetaovakhaosatanhhuongcuanhietđođencacđactrungcuamangsnođuocchetaoboiphuongphapphunxaphanungmagnetrondcfabricationandinvestigationoftheeffectsoftemperatureonthecharacteristicsofthesnoxthinfilmspreparedbydcmagneticsputtering AT tranquangtrang chetaovakhaosatanhhuongcuanhietđođencacđactrungcuamangsnođuocchetaoboiphuongphapphunxaphanungmagnetrondcfabricationandinvestigationoftheeffectsoftemperatureonthecharacteristicsofthesnoxthinfilmspreparedbydcmagneticsputtering |
_version_ |
1815638683294892032 |