Chế tạo màng mỏng điện môi Aluminum Nitride (AlN)
Lưu vào:
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Định dạng: | Đề tài nghiên cứu Khoa học (Research Papers) |
| Ngôn ngữ: | Vietnamese |
| Thông tin xuất bản: |
Trường Đại học Khoa học tự nhiên, Đại học Quốc gia TP.HCM
2022
|
| Chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | http://ir.vnulib.edu.vn/handle/VNUHCM/9820 |
| Từ khóa: |
Thêm từ khóa bạn đọc
Không có từ khóa, Hãy là người đầu tiên gắn từ khóa cho biểu ghi này!
|
| id |
oai:192.168.1.90:VNUHCM-9820 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
oai:192.168.1.90:VNUHCM-98202022-09-09T07:59:14Z Chế tạo màng mỏng điện môi Aluminum Nitride (AlN) Nguyễn, Đức Hảo Công nghệ vật liệu Vật liệu màng mỏng -- Chế tạo 2022-09-09T07:59:14Z 2022-09-09T07:59:14Z 2013 Đề tài nghiên cứu Khoa học (Research Papers) http://ir.vnulib.edu.vn/handle/VNUHCM/9820 vi application/pdf Trường Đại học Khoa học tự nhiên, Đại học Quốc gia TP.HCM |
| institution |
Đại học Quốc Gia Hồ Chí Minh |
| collection |
DSpace |
| language |
Vietnamese |
| topic |
Công nghệ vật liệu Vật liệu màng mỏng -- Chế tạo |
| spellingShingle |
Công nghệ vật liệu Vật liệu màng mỏng -- Chế tạo Nguyễn, Đức Hảo Chế tạo màng mỏng điện môi Aluminum Nitride (AlN) |
| format |
Đề tài nghiên cứu Khoa học (Research Papers) |
| author |
Nguyễn, Đức Hảo |
| author_facet |
Nguyễn, Đức Hảo |
| author_sort |
Nguyễn, Đức Hảo |
| title |
Chế tạo màng mỏng điện môi Aluminum Nitride (AlN) |
| title_short |
Chế tạo màng mỏng điện môi Aluminum Nitride (AlN) |
| title_full |
Chế tạo màng mỏng điện môi Aluminum Nitride (AlN) |
| title_fullStr |
Chế tạo màng mỏng điện môi Aluminum Nitride (AlN) |
| title_full_unstemmed |
Chế tạo màng mỏng điện môi Aluminum Nitride (AlN) |
| title_sort |
chế tạo màng mỏng điện môi aluminum nitride (aln) |
| publisher |
Trường Đại học Khoa học tự nhiên, Đại học Quốc gia TP.HCM |
| publishDate |
2022 |
| url |
http://ir.vnulib.edu.vn/handle/VNUHCM/9820 |
| work_keys_str_mv |
AT nguyenđuchao chetaomangmongđienmoialuminumnitridealn |
| _version_ |
1749009176164564992 |