Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)
Tổng quan về hệ vi cơ điện tử MEMS và hiệu ứng điện trở trong vật liệu bán dẫn silic. Tìm hiểu về công nghệ chế tạo và các vật liệu ứng dụng trong MEMS. Hiệu ứng áp điện trở trong vật liệu bán dẫn silic cho phép tìm ra quy tắc thiết kế các mô hình cảm biến cũng như cho phép tối ưu hóa các thiế...
Lưu vào:
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Định dạng: | Luận án |
| Ngôn ngữ: | other |
| Thông tin xuất bản: |
Đại học Quốc gia Hà Nội
2016
|
| Chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/8447 |
| Từ khóa: |
Thêm từ khóa bạn đọc
Không có từ khóa, Hãy là người đầu tiên gắn từ khóa cho biểu ghi này!
|