Investigation of the optical, electrical, and elemental properties upon annealing of spatial atomic layer deposited (SALD) Al-doped ZnO thin films

Thông tin tác giả: Punam Murkute, Carmen Jiménez, Abderrahime Sekkat, Chiara Crivello, Viet Huong Nguyen, David Muñoz Rojas
Thông tin xuất bản: Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering 2021
Nguồn tài liệu: Trường Đại học Phenikaa